晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式歐姆龍智能激光頭指導手冊。
使用環(huán)保導線（無滑石粉）。檢測方式：對射型。
形狀：水平模式。
連接方式：接插件式。
檢測距離：紅光7mE3NC-SH250H
輸出方式：PNP輸出。端子部形狀:端子內置型。
保護管直徑D:φ15mm。
元件種類：J（IC）。
保護管長度L：100cm。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應品的基礎上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應品歐姆龍智能激光頭指導手冊。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應部件。
可根據(jù)要測量的溫度、場所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產品。通用溫控器新增高性能（高分辨率、高速、高精度輸入）型產品。
支持簡易運算、預防維護。
采用可通過紅外線端口從前面進行通信的新型液晶，
可視角度、對比度得以提升歐姆龍智能激光頭指導手冊。
高分辨率5位顯示/可顯示0.01°C。
高速采樣周期60ms。
全部機型完整多種（能夠熱電偶/Pt/模擬輸入切換），1臺機器支持多種傳感器。
還支持遠程SP。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)（自動/手動、RUN/STOP、報警發(fā)生），
可交互顯示PV/SVE3NC-SH250H指導手冊。
通過支持軟件（CX-Thermo Ver.4.0）進行簡易運算功能（AND/OR邏輯和延時）設定，
能夠執(zhí)行柔性的接點輸出。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計數(shù)功能，可預測溫控器內部繼電器的故障。
備有位置比例型。小型塑料機殼型。
檢測方式：回歸反射型。
形狀：立式型。
連接方式：接插件式(M12)E3NC-SH250H指導手冊。
檢測距離：紅色光1m。
輸出方式：NPN輸出。
板狀物檢查玻璃晶圓片LCD玻璃基板：適用。
圓筒物檢查可樂瓶透明瓶子：不適用。尺寸：96×96mm。
本體：端子臺型，溫度輸入型。
種類：控制輸出1點型（電源AC100～240V用）E3NC-SH250H指導手冊。
外殼顏色：銀色。
控制輸出：電流輸出。
控制模式：標準或加熱冷卻。
輔助輸出點數(shù)：3點。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測功能/ES1B用電源：--。
事件輸入點數(shù)：--。
傳送輸出：可傳送輸出（使用控制輸出）。
通信：RS-232C。
96mm、48×96mm見方的通用溫控器已升級＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預防維護功能，性能進一步提升。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫溫控器的狀態(tài)
（自動/手動、RUN/STOP、報警發(fā)生），可交互顯示PV/SSV歐姆龍智能激光頭指導手冊E3NC-SH250H手冊。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計數(shù)功能，可預防維護溫控器內部繼電器。
增加了3段顯示，可同時顯示易于理解的當前值/目標值/操作量。
增加了PF鍵，分配自動/手動、RUN/STOP等，可實現(xiàn)一鍵操作。