晶圓片托架的落座檢測。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式EJ1G-HFUA-NFL2手冊。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ONEJ1G-HFUA-NFL2
導(dǎo)線長：2m。尺寸：96×96mm。
控制輸出1：電壓輸出(SSR驅(qū)動用)。
控制輸出2：繼電器輸出。
輔助輸出：4點(輔助輸出1、2公共通用，輔助輸出3、4公共通用)。
電源電壓：AC100～240VEJ1G-HFUA-NFL2手冊。
端子形狀：螺釘端子臺型。
輸入類別：全量程多輸入。
加熱斷線、SSR故障檢測功能：2點(三相加熱器用)。
通信：RS-485。
事件輸入：2點。
遠程SP輸入：--。
傳送輸出：--。
清晰易讀的大屏白光PV顯示。從選型到設(shè)定與操作均簡單易用。
完整的I/O容量、功能和性能范圍。適合更多應(yīng)用。
E5AC的白光LCDPV顯示屏高度約為25mmEJ1G-HFUA-NFL2手冊。
上面板和前面板都配有工具端口。
用通信轉(zhuǎn)換線（另售）連接至電腦上來建立控制器而不需要為電源安裝電線。
輕松安裝CX-Thermo（另售）。
50ms高速采樣周期。
型號可配備最多4點輔助輸出，6點事件輸入，
1點傳送輸出和遠程SP輸入，適合一系列廣泛的應(yīng)用歐姆龍EJ1G-HFUA-NFL2操作手冊。
主體短小，厚度僅為60mm。
易于使用未編程通信連接到可編程邏輯控制器(PLC)。
使用部件通信將溫控器互相連接。
新型位置比例控制型號使您還可以控制閥門。端子部形狀:導(dǎo)線直出型。
保護管直徑D：φ1.6mm。
保護管長度L：35cm。
導(dǎo)線種類：一般用。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列歐姆龍EJ1G-HFUA-NFL2操作手冊。
在以往的M3螺釘對應(yīng)品的基礎(chǔ)上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應(yīng)品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應(yīng)部件。
可根據(jù)要測量的溫度、場所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產(chǎn)品歐姆龍EJ1G-HFUA-NFL2操作手冊。尺寸：96×96mm。
控制輸出1：線性電流輸出。
控制輸出2：--。
輔助輸出：獨立2點。
電源電壓：AC100～240V。
端子形狀：螺釘端子臺型。
輸入類別：全量程多輸入。
加熱斷線、SSR故障檢測功能：--。
通信：RS-485。
事件輸入：4點。
遠程SP輸入：有。
傳送輸出：有。
清晰易讀的大屏白光PV顯示。從選型到設(shè)定與操作均簡單易用。
完整的I/O容量、功能和性能范圍。適合更多應(yīng)用。
E5AC的白光LCDPV顯示屏高度約為25mm。
上面板和前面板都配有工具端口。
用通信轉(zhuǎn)換線（另售）連接至電腦上來建立控制器而不需要為電源安裝電線。
輕松安裝CX-Thermo（另售）。
50mss高速采樣周期EJ1G-HFUA-NFL2。
型號可配備最多4點輔助輸出，6點事件輸入，
1點傳傳送輸出和遠程SP輸入，適合一系列廣泛的應(yīng)用EJ1G-HFUA-NFL2手冊。
主體短小，厚度僅為60mm。
易于使用未編程通信連接到可編程邏輯控制器(PLC)。
使用部件通信將溫控器互相連接。
新型位置比例控制型號使您還可以控制閥門。