晶圓片托架的落座檢測(cè)。
通過(guò)與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹(shù)脂。
獨(dú)有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測(cè)所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式凹槽型接插件型光電傳感器。
使用環(huán)保導(dǎo)線(xiàn)（無(wú)滑石粉）。
檢測(cè)方式：反射型。
檢測(cè)距離：紅外光0~3mm。
動(dòng)作模式：有晶圓片托架時(shí)ON。
導(dǎo)線(xiàn)長(zhǎng)：2mEE-SPX741尺寸：96×96mm。
本體：端子臺(tái)型，溫度輸入型。
種類(lèi)：控制輸出1點(diǎn)型（電源AC/DC24V用）凹槽型接插件型光電傳感器。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：繼電器輸出。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)或加熱冷卻。
輔助輸出點(diǎn)數(shù)：3點(diǎn)。
加熱器用斷線(xiàn)、SSR故障、加熱器過(guò)電流檢測(cè)功能/ES1B用電源：?jiǎn)蜗嗉訜崞饔脵z測(cè)功能。
事件輸入點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)。
傳送輸出：--。
通信：--。
96mm、48×96mm見(jiàn)方的通用溫控器已升級(jí)＆功能/性能提升凹槽型接插件型光電傳感器。
指示精度提升、增加了預(yù)防維護(hù)功能，性能進(jìn)一步提升。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)
（自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP、報(bào)警發(fā)生），可交互顯示PV/SV。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計(jì)數(shù)功能，可預(yù)防維護(hù)溫控器內(nèi)部繼電器EE-SPX741。
增加了3段顯示，可同時(shí)顯示易于理解的當(dāng)前值/目標(biāo)值/操作量。
增加了PF鍵，分配自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP等，可實(shí)現(xiàn)一鍵操作。端子部形狀:端子內(nèi)置型。
保護(hù)管直徑D：φ6.4mm。
保護(hù)管長(zhǎng)度L：50cm。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對(duì)應(yīng)品的基礎(chǔ)上，
追加有助于降低配線(xiàn)工時(shí)的棒狀端子對(duì)應(yīng)品EE-SPX741。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應(yīng)部件。
可根據(jù)要測(cè)量的溫度、場(chǎng)所、 周?chē)h(huán)境選擇。
備有種類(lèi)、形狀、 長(zhǎng)度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。E32-D15Z種類(lèi)：標(biāo)準(zhǔn)型；標(biāo)準(zhǔn)，
特長(zhǎng)：平面形狀；平視，
彎曲半徑(mm):R25EE-SPX741。
標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)物體(最小檢測(cè)物體)(mm) 1：(φ0.005)，
滿(mǎn)足多樣化需求的光纖單元采用可見(jiàn)光點(diǎn)的紅色LED 。
即使在遠(yuǎn)處也能一目了然的大指示燈。
提高操作性能(靈敏度調(diào)節(jié)旋鈕、動(dòng)作模式切換開(kāi)關(guān)大型化)。
電源電壓：AC/DC自由電源型。
檢測(cè)方式：對(duì)射型(投光器＋受光器)
檢測(cè)距離：紅色光5m。
輸出形式：NPN輸出。
投光器: E3JK-TN12-L 2M。
受光器: E3JK-TN12-D 2M。高性?xún)r(jià)比的標(biāo)準(zhǔn)型接近傳感器。
標(biāo)準(zhǔn)采用電纜保護(hù)器。
新增直流二線(xiàn)式機(jī)種。
無(wú)極性二線(xiàn)式接近傳感器。
種類(lèi)：直流二線(xiàn)式/接插件型。
極性：有。
形狀：非屏蔽，M18。
檢測(cè)距離：14mm。
動(dòng)作模式：NC。本體：端子臺(tái)型，溫度輸入型。
種類(lèi)：控制輸出1點(diǎn)型（電源AC/DC24V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：電壓輸出（SSR驅(qū)動(dòng)用）。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)或加熱冷卻。
輔助輸出點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)。
加熱器用斷線(xiàn)、SSR故障、加熱器過(guò)電流檢測(cè)功能/ES1B用電源：?jiǎn)蜗嗉訜崞饔脵z測(cè)功能。
事件輸入點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)。
傳送輸出：--。
通信：--。
48mm的通用溫控器已升級(jí)＆功能/性性能提升。
指示精度提升、增增加了預(yù)防維護(hù)功能，
性能進(jìn)一步提升歐姆龍EE-SPX741。
E5CN-U（插入型）新增模擬輸入入入型和電流輸出型凹槽型接插件型光電傳感器。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)（自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP、報(bào)警發(fā)生），
可交互顯示PV/SV。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計(jì)數(shù)功能，可預(yù)防維護(hù)溫控器內(nèi)部繼電器。
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